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合肥欣奕華首臺Micro LED激光巨量轉移設備正式交付

編輯: 2025-06-17 14:10:36 瀏(liu)覽(lan):837  來源:

2025年6月13日,合肥欣(xin)奕(yi)華智能機器股份(fen)有限(xian)公司(以下簡稱“欣(xin)奕(yi)華智”)宣布,其首臺Micro LED激光巨量轉移設備(bei)正式下線交(jiao)付(fu)客戶。該設備(bei)的成功開發與交(jiao)付(fu),標志著欣(xin)奕(yi)華智在(zai)新型顯示技(ji)術領(ling)域取得(de)了重大(da)突破,將有力推動Micro LED產業的發展。

Micro LED作為新一代顯示技(ji)術,具有高(gao)亮度、高(gao)對(dui)比度、高(gao)刷新率(lv)等(deng)優(you)(you)點,被廣泛應用于電(dian)視(shi)、顯示器、虛擬現實(shi)(shi)等(deng)領域(yu)。而(er)激光(guang)(guang)巨量轉移(yi)(yi)設(she)備(bei)作為Micro LED制程(cheng)中的(de)(de)關鍵設(she)備(bei)之一,對(dui)于實(shi)(shi)現Micro LED的(de)(de)大規模量產(chan)至(zhi)關重要(yao)。欣奕華智此次交付的(de)(de)Micro LED激光(guang)(guang)巨量轉移(yi)(yi)設(she)備(bei),采用了多項自主研(yan)發的(de)(de)核心技(ji)術,具備(bei)多項行業領先(xian)優(you)(you)勢。設(she)備(bei)搭(da)載(zai)超高(gao)精度運動平臺,可(ke)實(shi)(shi)現精密自動對(dui)位和(he)芯(xin)片高(gao)效巨量轉移(yi)(yi),芯(xin)片轉移(yi)(yi)綜合精度控制在1.5μm以內(nei),確保了芯(xin)片轉移(yi)(yi)的(de)(de)準確性(xing)(xing)和(he)穩(wen)(wen)定性(xing)(xing)。同時,自主設(she)計的(de)(de)光(guang)(guang)路系統,實(shi)(shi)現了光(guang)(guang)斑(ban)高(gao)均(jun)勻性(xing)(xing)和(he)穩(wen)(wen)定性(xing)(xing),為芯(xin)片轉移(yi)(yi)提供了可(ke)靠的(de)(de)光(guang)(guang)學保障。此外,設(she)備(bei)還具備(bei)晶圓姿態檢測(ce)及校正(zheng)功能、光(guang)(guang)斑(ban)位置自校正(zheng)功能,進一步提升了設(she)備(bei)穩(wen)(wen)定性(xing)(xing)和(he)生產(chan)效率(lv)。


在兼(jian)容性方面,該設備(bei)最大(da)支持G2.5代(370mmX470mm)基板,可滿足不同(tong)客(ke)(ke)戶(hu)(hu)的(de)多(duo)樣化(hua)需求。搭(da)配欣(xin)奕華智自研的(de)Micro LED準分(fen)子激光剝離(li)設備(bei)、DPSS固體激光剝離(li)設備(bei),能夠為客(ke)(ke)戶(hu)(hu)提供一站(zhan)式(shi)的(de)Micro LED制程解決方案,助力客(ke)(ke)戶(hu)(hu)降低生產成本,提高生產效率(lv)。

此次首臺Micro LED激光巨量(liang)轉移(yi)設備(bei)的(de)交付,不僅彰顯了欣(xin)(xin)奕華(hua)(hua)智自成(cheng)立以來在(zai)新型顯示領域不斷(duan)積累的(de)技(ji)術研發和創新實力,更為(wei)公(gong)司未來發展(zhan)奠定了堅實基礎(chu)。隨著Micro LED技(ji)術的(de)日益成(cheng)熟(shu)和應(ying)用(yong)場(chang)景的(de)持續拓展(zhan),欣(xin)(xin)奕華(hua)(hua)智的(de)Micro LED 激光巨量(liang)轉移(yi)設備(bei)有望在(zai)市場(chang)中獲得廣泛應(ying)用(yong)。欣(xin)(xin)奕華(hua)(hua)智也將繼續深耕技(ji)術創新,優(you)化產品性能,進(jin)一步提升(sheng)市場(chang)競爭(zheng)力,致力于為(wei)我國新型顯示產業(ye)在(zai)全球競爭(zheng)中贏得優(you)勢,為(wei)推動(dong)行業(ye)高質(zhi)量(liang)發展(zhan)貢獻力量(liang),向著科技(ji)強國的(de)目標穩步邁進(jin)。

 

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